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技術文章

在線膜厚透射光譜儀 BTR-1介紹

在線膜厚透射光譜儀 BTR-1介紹

施加到薄膜上的薄膜的厚度是通過鹵素光的光學干涉法測量的。 同時進行透光率測量,可自動管理膜厚數據,輸出異常值的外部信號。
薄膜生產線的光譜檢測系統,可以與控制面板和操作員操作部分的距離相距幾十米,同時控制面積傳感器和編碼器,實現超越光譜測量概念的新型薄膜檢測。

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在線膜厚透射光譜儀概述

隨著生產現場的需求開始,各種薄膜的厚度和涂層薄膜的管理正在迅速增長。
通過透射率管理透明度和使用色度管理色粒也引起了人們的關注。
Emprunner BTR-11是一款光譜儀,它將這種光測量整合到高速運行的在線過程過程中,這是一種新概念的在線光譜檢測系統,支持每個控制信號并實施安全措施。
內部光譜不受薄膜寬度大小或速度的限制,內部光譜儀使用卡爾蔡司光譜儀,測量薄膜厚度再現性和透射率精度在在線檢測水平上達到了非常高的水平。

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可測量樣本示例

  • 硅、氧化硅、氮化硅

  • 砷化鎵

  • 二氧化鈦

  • 光刻 膠

  • 染料膜、油膜和彩色濾膜

  • 影片

  • 涂料和粘合劑

  • 紫外光固化樹脂

  • 金屬氧化膜、介電膜

  • 聚合體

  • 空氣層

  • 光盤、中藥、光盤

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